Physics of Thin Films. Vol.14. Contemporary preparative techniques
Francombe M.H., Vossen J.L.
Academic Press, Boston, 1989, 260 c.
В книге представлены такие большие главы:
1) Реактивное распыление
2) Плазменное окисление
3) Катодное дуговое плазменное осаждение тонких пленок
4) Подготовка подложек для осаждения пленок с использованием методик тлеющего разряда
В книге представлены такие большие главы:
1) Реактивное распыление
2) Плазменное окисление
3) Катодное дуговое плазменное осаждение тонких пленок
4) Подготовка подложек для осаждения пленок с использованием методик тлеющего разряда
Catégories:
Langue:
english
ISBN 10:
0125330146
ISBN 13:
9780125330145
Fichier:
PDF, 16.47 MB
IPFS:
,
english0