Praxiswissen Mikrosystemtechnik : Grundlagen, Technologien, Anwendungen ; mit 55 Tabellen
Friedemann Völklein, Thomas Zetterer
Basistechnologien: Reinraumtechnologie - Substrate und Materialien der Mikrosystemtechnik - Dünnschichttechnologie - Lithographie - Planare Mikrostrukturierung - Dreidimensionale Mikrostrukturierung - Grundstrukturen und Anwendungen - Aufbau- und Verbindungstechniken, Konzepte zur Systemintegration - Ausgewählte Beispiele komplexer Mikrosysteme - Übungen
Catégories:
Année:
2006
Edition:
2., vollst. überarb. und erw. Aufl
Editeur::
Vieweg
Langue:
german
Pages:
500
ISBN 10:
3528138912
ISBN 13:
9783528138912
Collection:
Vieweg Praxiswissen
Fichier:
PDF, 10.68 MB
IPFS:
,
german, 2006
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